11月初，来自成都市双流区的一批光刻机即将从空港聚光光电产业园发往全国各地。此次订单的总额已突破1亿元，众多客户在翘首以待，排起了长队。参与此次生产的中特微公司，虽于今年2月刚将总部迁至双流，工厂内的技术人员依然紧张地加班赶工，以确保设备按时交付。该设备主要服务于光芯片、LED及显示半导体等行业。在光刻机领域，很多人都会不自觉想起技术难度极高的EUV设备，而这家本土企业则选择了另辟蹊径，专注于接近式光刻机这一细分领域，以避开竞争异常激烈的主流市场。

在这之前，接近式光刻机市场长期被德国、日本和奥地利等外企掌控，国内一些设备只能在实验室内展示其效能，真正投入到工厂生产时却常常遇到诸多问题。更为棘手的是，国外大厂不愿针对我国企业进行定制化调整，这也为国内的市场留下了广阔的空间。该公司的团队由中科院的专家组成，成立不到五年，他们在UV-LED平行光源、显微定位和精密运动控制三项关键技术上取得了突破。今年，该公司实现了4/6英寸设备的批量生产，成功打破了国外的技术垄断。在光显示细分市场中，其设备已占据约80%的份额，供应国内数十家领先企业。从各方面来看，这是国内为数不多的能够批量交付光刻机的厂家，同时也涉足8英寸MEMS和光通信产线。

计划在明年将产能提升至300台的企业，正在研发面板封装激光直写光刻机。如果这一新项目能够成功，便能够形成从晶圆到面板级完整的光刻机产品线。选择在双流落地，企业看重的是当地完善的上下游配套、丰富的人才储备，以及相关政策的支持。空港科创集团则通过其产业基金进行股权投资，力求填补本地半导体装备产业链的短板。 吉祥体育下载

如今，整个空港聚光光电产业园内已聚集了18家光电相关企业，其中不乏多家专精特新和高新技术企业，双流的光电产业总产值已突破660亿元。通过关注细分市场，半导体装备不必刻意争夺最难的主线，稳踏实地地实现量产同样能为国产设备赢得一席之地。深耕于细分领域，国产装备创造出新的机遇也在望。我们期待，越来越多的国产设备能够走进国内工厂，推动行业的发展。